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- 202104-23台积电18厂用再生水陈美伶:符合先进制程所需台积电南科先进制程新厂,首度将再生水运用工业生产引发疑虑,国发会主委陈美伶表示,已借由督导平台关注,为配合产业生产需求,再生水标准符合南科相关先进制程所需。陈美伶同时强调,一旦有异常情况会启动紧急供水措施,对于制程及良率将有更高保障。台积电晶圆18厂落脚南科,政府承诺会稳定供应水电,提出运用再生水方案,由于目前半导体晶圆生产都是用纯水,台积电晶圆18厂使用再生水,市场...
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